de aankoop van een toestel voor de deponering van dikke oxide-diëlectrica Dit is een 300 mm verwerkingsplatform met drie kamers. Het bevat: • Een module voor het aanbrengen van micron-dikke (>20 µm) diëlektrische lagen, bedoeld voor gap-fill toepassingen. • Een module voor diëlektrische depositie aan de achterzijde van de wafer, gebruikt voor spanningscompensatie. • Een Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PeCVD) module voor het aanbrengen van standaard diëlektrische materialen.
| Ilmoitusnumero | 355476-2026 |
|---|---|
| Ilmoitusta kuvaavat CPV-Koodit | Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) (38000000) |
| EUVL S | 99/2026 |
| Ilmoitustyyppi | Ilmoitus tehdystä sopimuksesta |
| Aluekoodi | |
| Osoitetiedot |
Imec EU Pilot line NV Heverlee tom.wauters@imec.be https://ted.europa.eu/nl/notice/-/detail/355476-2026 |
| Osoite, johon tarjoukset tai osallistumispyynnöt on lähetettävä | |
| Liitteet | |
| Lähde | TED |