Acquisition d’une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection liquide (DLI-CVD)

L’Unité Mixte de Recherche CNRS n°6174 (FEMTO-ST) souhaite acquérir une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection de liquide, capable de répondre aux exigences avancée en matière de dépôt de couches minces (oxydes et métaux nobles), de croissance de couches minces d’épaisseur atomique contrôlée et conforme sur des structures 3D (ALD), de procédés CVD/ALD assistés par plasma micro-ondes, ainsi que le traitement thermique rapide, pour des applications scientifiques et de recherche et développement.