Consulta preliminar de mercado para el suministro de nueve equipos destinados al Centro de Semiconductores de Málaga

Objeto de la consulta preliminar: La presente consulta es abierta y se dirige a todos los operadores
económicos que posean interés en el eventual procedimiento que se siguiese, y tengan intención de
colaborar con el órgano de contratación, facilitando información sobre el estado del mercado respecto
de soluciones que satisfagan las necesidades planteadas, en base a las siguientes especificaciones, o
equivalentes, debiendo especificar el cumplimiento de cada una de ellas o, en su caso, la alternativa
propuesta: Cada tool debe de cumplir con las siguientes especificaciones técnicas: Todas las tools
deberán ser compatibles con una sala blanca (cleanroom) Clase ISO 6 para obleas de 300 mm y estar
equipadas con manipulación totalmente automatizada de obleas, incluyendo puertos de carga para Front-
Opening Unified Pods (FOUPs), compatibles con sistemas de transporte aéreo (Overhead Transport
Systems, OHT/AMHS), con el fin de permitir una operación sin intervención manual y de alta
productividad (high-throughput). Cada tool de proceso deberá disponer de una interfaz mediante un
Equipment Front End Module (EFEM) que proporcione alineación de obleas, identificación (p. ej., código
de barras/RFID), almacenamiento intermedio (buffering) y transferencia robotizada hacia las cámaras de
proceso bajo condiciones ambientales controladas. Todo el equipamiento deberá cumplir con los
estándares SEMI (p. ej., E84, E87, E90) para garantizar una integración fluida con la automatización de
fábrica y el Manufacturing Execution System (MES). El MES deberá orquestar la gestión de lotes (lot
dispatching), la gestión de recetas (recipe management), la trazabilidad y la recopilación de datos en
tiempo real, permitiendo una automatización completa, una alta utilización de los equipos y un estricto
control de proceso en toda la fábrica (fab).