Picosecond ultrasonics film thickness measurement tool

VTT, Suomi | TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
Julkaistu 6 päivää sitten | 26.4.2026 Määräaika: 3 kuukautta kuluttua | 27.7.2026 03:25 Alkuperäinen ilmoitus

Cassette-to-cassette measurement system using picosecond ultrasonics for materials characterization in semiconductor processes, enabling metal thickness metrology, implant monitoring, and thermal conductivity characterization.

Ilmoitusnumero 284807-2026
Ilmoitusta kuvaavat CPV-Koodit Mittalaitteet (38300000)
EUVL S 81/2026
Ilmoitustyyppi Ennakkoilmoitus suorahankinnasta
Aluekoodi
Osoitetiedot TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
VTT
kilpailutus@vtt.fi
https://ted.europa.eu/fi/notice/-/detail/284807-2026
Osoite, johon tarjoukset tai osallistumispyynnöt on lähetettävä
Liitteet
Lähde TED